行業:半導體晶圓產業
專案名稱:乾式真空泵之中央監控系統 (DPM CMS)
累積長期資料於資料庫中,透過報表工具驗證 Pump 廠商所提出的設備妥善率參數,如 MTBF、MTTR 是否合理,達到設備 Uptime 時數最大化。
透過所提供的即時監控資訊,建構設備 Utilization 概念,分析 Downtime 事件原因、次數與發生期間再分析Downtime 發生期間的因素與時數,改善與縮短 Downtime 時間,進而提昇生產機台 Uptime 時數。
機械課估計於 98/09~99/03,便精確地攔截到 17 次 Pump 跳脫前的趨勢,且確實地通知到 Sponsor。此次經分析後發現,現行系統能精確擷取到 Pump 不正常運作的警報,於第一時間發送至 Sponsor,再由其判斷相關條件因素,然後下 Command 去執行後續應變措施,能成功判斷後,將損壞之晶圓數量降至最低。
根據過去經驗,約 50台(次)/年,因資訊不足而無法判斷的 Pump 跳脫因素。假設 11 次 / 2010 Q1 *4(Per Year) *25片/Lot*18萬 ≒ 2億元,此筆金額便是可以事先預防的損失。
 
 
 
 
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