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科勝科技股份有限公司 |
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工程名稱 |
C/C Room 及薄膜實驗室機台整合 |
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日 期 |
89/4 -> 89/6 |
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業 主 |
ITRI / ERSO公司 |
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內 容 |
將C/C Room內所有Cabinet之監控及薄膜實驗室內NOVELLUS HDP-CVD,AMAT PVD/CVD , Lam Research Oxide Etcher及Low-K Etcher等機台透過 Wonderware SECS-II/GEM標準Protocol,整合於 Wonderware InTouch圖控系統之下.。 |
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金 額 |
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